量纲分析

量纲分析ZYGO可以扩展其功能,从用于报告3D测量结果的相同数据中实现亚像素2D测量。用户可以选择使用高度或强度数据来进行这些横向测量。参数,如线和空间宽度,孔尺寸,和特征之间的关系是可能的。

ZYGO的2D测量解决方案不仅适用于横向尺寸,还适用于生产和自动化环境。2D计量学可用于识别零件对准的特征,以确保在生产风格的测量中可靠和可重复的计量解决方案。

线宽

线的宽度随着晶圆、光刻和半导体行业的技术和精度的进步,必须满足可靠的计量解决方案的需求。betway体育必威这些行业的一个共同需求是线宽测量。betway体育必威ZYGO 2D计量解决方案为这种测量应用提供了高度可重复的非接触式解决方案。这些2D线宽测量使得对质量和可靠产品需求增加的这些行业的非接触式高速过程控制成为可能。betway体育必威必威中文网站

Mx集成自动化和模式匹配

模式匹配Mx Software结合Cognex®VisionPro™软件套件,允许用户使用样品上的已知特征来校准测量。这种自动测量校准为从样品到样品和从操作员到操作员的可重复结果提供了信心。VisionPro软件套件可以实现多种功能,帮助实现特定测量的自动化。

VisionPro软件可用于校准夹具中的一组零件,方法是根据一个或多个训练过的特征的发现位置执行原点偏移和模式旋转。VisionPro软件套件还能够自动定心测量特定的特征。最后,VisionPro™可用于掩盖测量视野中的某个特征,而忽略其他特征。

几何尺寸与公差

几何尺寸与公差公差几何尺寸和公差是可能的使用二维计量数据。GD&T特征,如基本横向尺寸,真实位置和同心度都可以使用ZYGO 2D计量数据。

通常需要多个系统和多次测量的结果都可以通过在ZYGO系统上进行的单一2D测量得到。

VisionPro和Cognex是康耐视公司的商标或注册商标。

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