精确表征厚、薄膜的形貌和厚度，以及衬底形貌
显示设备上部分透明薄膜厚度的测量。所述薄膜表面和基材表面均显示了地形图。
在许多应用中，薄膜和涂层的沉积和控制对于实现设备的功能或效率至关重要，包括消费电子产品、半导体、光学等。这种先进的设备通常需要精确的薄膜形貌和层厚表征，以确保高质量和性能。
基于无损、非接触的面基光学技术(CSI -相干扫描干涉测量法)，我们的多功能精密3D测量仪器和传感器可以测量不同地形和层厚的透明表面，从50纳米到150微米，面积从微米到毫米。
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