形状与平整度
人造表面可以有许多形状和大小。对于形状表征是功能关键的表面,ZYGO激光干涉仪而且三维光学剖面仪非接触式表面数据的亚纳米重复性突出。结合行业标准的形式和平整度Mx™分析软件创建用于表面检查的单个停止测量工具。探索解决方案,为您的应用在表面形式和平面度计量下面。
形式

形状计量学可以概括为表面相对于基本形状的绝对或相对测量。ZYGO产必威中文网站品涵盖了一般应用,如球体和圆柱体,使用标准产品以及专业应用和工具进行测量,如非球面或更复杂的形式薄玻璃.
ZYGO在形状计量方面的应用空间广泛,我们的工具灵活。斜面上的半径,棱镜的角度或表面之间的角度,或表面曲率只是几个例子。笛卡尔和旋转对称拟合函数伴随在给定表面上的数百万个数据点,以确保我们的形式计量的信心。
平面度

平面度测量在整个ZYGO产品线中以各种方式进行。高质量的传输平面(高达λ/50)允许ZYGO激光干涉仪测量空间望远镜的平面到地面钢表面。Mx™软件通过掠入射测量的方式扩展了超大(大于4至6英寸)矩形表面的平面度测量应用空间。
带有电动分期的光学轮廓仪通过拼接和图形移动克服了小视野测量,以探索和呈现表面的平整度结果。同样,工作距离的范围也适用于我们显微镜下的目标允许测量平面阀座和凹腔内的密封件。
凭借一系列解决方案和强大的应用空间,ZYGO以其在表面形状和平面度测量领域的领导者而自豪。了解ZYGO如何满足表面规格,同时超出您的期望。