曲率半径

ZYGO激光干涉仪是用于光学元件和系统测量和表征的强大而精确的仪器。最常见的应用之一包括曲率半径的测量。曲率半径是球面光学曲面的基本参数和功能参数，在制造过程中需要对曲率半径进行质量控制。

干涉仪通常是光学制造商的首选解决方案，因为它们具有关键属性和优势，包括:

• 非接触式3D测量
• 精确、高质量的数据
• 快速零件设置和测量
• 兼容短和长半径表面

球面的曲率半径通常使用相位测量干涉仪来确定测试光学的最佳拟合球面(共焦)和曲率中心(猫眼)的零位置。直线导轨提供这些位置与一个或多个位置之间的运动位移传感器用来记录猫眼和共聚焦位置之间的距离，因此，曲率半径。

ZYGO的交钥匙半径测量解决方案集成了行业领先的干涉仪，参考配件，光机械子系统和计量软件。从手动到自动解决方案，有广泛的配置可供选择，通常涉及以下一个或多个组件:

• 移相激光菲索干涉仪以垂直(向下看)或水平方向配置的
• 标准或高级传输球
• 一种导轨定位系统，配有编码器或距离测量干涉仪(DMI)，以达到最高精度
• 手动或电动五轴安装，以保持和校准被测表面
• 被动隔振工作台或工作站

配置选项

ZYGO提供多种测量曲率半径的产品选项，包括水平和垂直配置，手动或自动操作。

Verifire™—有多种配置选项。请查阅激光干涉仪附件指南(PDF)。

验证VTS /工作站- ZYGO单机交钥匙干涉仪工作站提供精确的曲率半径测量，易于使用的垂直方向非常适合生产环境，集成被动隔振和占地面积小。