地形与纹理
随着技术的进步，表面正在以严格的控制制造，对高精度和高精度测量表面纹理的需求变得更加关键。当涉及到粗糙度测量时，有3个重要因素:测量表面、处理数据和报告结果。
测量表面
以足够的精度测量表面是确保粗糙度值准确的关键。ZYGO的三维光学轮廓仪系统使收集精确的数据快速和简单的易于使用的功能，如SmartSetup™技术，将找到焦点，调整测量参数，并采取测量所有在一个按钮点击。
数据分析
在任何粗糙度测量中，都需要对原始数据进行处理或过滤，以将粗糙度与表面的波纹度和形状分开。ZYGO的Mx™软件使它容易过滤您的表面与iso兼容的过滤。
报告结果
从历史上看，Ra(平均粗糙度)是谈论表面粗糙度时的常用结果，但它通常不能说明全部情况。根据表面的不同，还有许多其他结果可能更好地描述表面，例如:
- 偏度(Ssk):表面以峰或谷为主?
- Sdr:发展表面积比，即考虑地形时的表面积与投影面积的比值
- Sdq:局部坡度或纹理变化的速度
- Sal和Str:描述曲面主要是随机的还是周期性的/有方向的