总厚度变化(TTV)
必威中文网站我们每天使用的产品，以及那些正在为未来开发的产品，创造了对精密并行光学的需求，如晶圆、显示玻璃、磁盘驱动器、标准件和波导。这些类型的光学元件的厚度变化，称为总厚度变化或TTV，对于精确地鉴定和控制至关重要。TTV定义了平行窗或同心球面光学厚度的最大物理变化，但可以通过光学测量。光学测量能够以高横向采样率和极小的垂直分辨率测量大面积。
的Verifire MST适用于需要精确控制厚度变化的组件的TTV -同时获取每个表面的数据，确保在厚度测量中保持表面到表面的信息。其他光学测量方法需要对每个表面进行多次单独测量，导致厚度变化的测量误差。