楔角和棱镜角

的表现光学系统如望远镜、照相机镜头和激光系统的质量所依赖的光学组件在系统内部。从侧面看,许多平面光学元件看起来完全平行,但在两侧之间通常有一些楔形。在极其精确的系统中,了解窗户的楔形程度是至关重要的。

非接触式方法

有多种非接触方法来测量楔形或平行度。自准直器是光学工业中常用的一种设备。当光穿过光楔时,光束会发生一定角度的偏转,δ,由玻璃的折射率来定义,n,以及玻璃的机械楔角,α.计算公式如下:δ = 2(n-1)·α

虽然这种方法是有用的,但结果的准确性和再现性取决于有一个熟练的操作员。也有必要有一个目标镜是平坦的λ/4或更好,以确保返回的图像是足够好的聚焦。除了干涉仪所具有的所有测量功能外,它还可以在某些条件下测量窗口的楔形。

楔角测量装置

干涉测量法测量楔形

测量平面光学楔的装置如图所示。传输平面(TF)和参考平面(RF)构成一个楔形光学腔。为了减少环境误差,所有组件之间的距离应尽可能小。

楔棱镜角

结论

光学系统测量楔子装有窗口,可减小误差,提高效率。自准直仪在测量窗口楔形时很有用,但测量结果远不如干涉仪精确,而且依赖于操作人员的可变性。因此,ZYGO建议使用干涉测量法来测量窗户的楔形。

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