非球面与自由曲面计量
非球面和自由曲面光学的应用正在增长，通常用于需要改进成像性能和较少光学元件的地方。这些复杂光学系统的设计及其精密制造方法已成为先进光学系统商业化的推动者，这些系统用于各种应用，如LED照明、激光束整形、消费电子设备、成像传感器、望远镜、头戴式显示器、相机和光刻步进透镜。
不像传统的曲面光学，表面形状是名义上的球形，非球面和自由曲面表现出典型的复杂，高纵横比，倾斜表面的非对称光学表面。一种将球面、非球面和环面设计成一个部件的自由曲面光学，从而使它们具有挑战性的设计、测量和制造。
对于这些类型的复杂表面，精确的计量在制造过程中提供必要的质量控制和反馈方面起着关键作用。ZYGO激光干涉仪而且三维光学剖面仪通过表征和量化关键表面参数，如形状误差、波浪度、缺陷和表面粗糙度，确保制造过程中的质量和过程监控。
与光学表面的触觉测量方法相比，ZYGO干涉仪具有更有效的质量控制和良率优化的几个关键优势:
- 非接触方法-防止可能的损坏完成，高质量的表面
- 全区域，3D测量-与单个(2D)轮廓相比，提供更好的工艺洞察和表面表征。
