微透镜

微透镜阵列是各种应用的组成部分，包括显示、传感器和其他光子系统。微透镜阵列的关键指标包括曲率半径直径和螺距。

此外，为了限制光学表面散射，表面纹理也是一个至关重要的衡量标准。ZYGO的非接触式光学剖面仪提供了完整的、高分辨率的微透镜阵列三维表面图。

微透镜阵列经常大批量生产。因此，一个自动化、可靠的计量解决方案对于跟上生产是至关重要的。ZYGO三维光学剖面仪可配置电动工作台，允许使用配方自动化零件测量，包括自动零件校准。

ZYGO的Mx™软件控制所有这些系统，提供一个简单的交互式界面来测量，分析和自动收集微透镜阵列数据。灵活的UI非常适合集成到许多应用程序中，从单个测量到生产。此外，该软件的标配区域分析工具可以自动从阵列中分割出单个微透镜，实现离散或组分析。

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