光刻阶段

凭借30多年的经验，ZYGO的纳米位置传感产品已成为最值得信赖的产品之一，提供持续运行的卓越性能。必威中文网站ZYGO是位移传感器的市场领导者，在OEM的基础上为闭环伺服控制提供反馈。目前生产中的半导体和平板制造和过程控制工具依靠ZYGO传感器提供大批量制造环境所需的精度和可靠性。

我们的ZMI™位移位置传感器用于测量这些系统中十字线/掩膜和晶圆级的相对运动到纳米级。我们的模块化组件可以配置为您的特定应用提供所需的所有自由度，以实现成功的纳米级运动控制。一个单一的ZMI激光头能够测量2到22个轴的测量，允许在所有轴上进行完全同步测量。

作为您在运动控制领域的合作伙伴，ZYGO将为您持续的系统改进提供支持，并为您的下一代需求提供前进的道路。