薄玻璃

创新技术可以同时测量薄光学的正面和背面。

在对越来越小的消费产品和半导体器件需求的驱动下，制造商需要薄平面光学器件用于一系列应用。必威中文网站

这使得材料和光学制造商有责任确保玻璃是平坦的，没有可能导致扭曲和影响最终使用功能的材料变形。

测量薄的平面平行光学的表面一直是有问题的，因为来自前表面和后表面的多次反射被返回到干涉仪。

这导致了重叠干涉条纹的复杂图案，使得传统的相移干涉测量技术(PSI)很难获得可靠的测量结果。

为了克服使用PSI测量薄平面平行光学元件的局限性，已经开发了几种技术，如在背表面涂覆以减少或消除二次反射。涂抹黑色涂料，用深色记号笔着色，或在背面涂抹凡士林都需要时间，在计量过程中增加了不必要的步骤，并且在涂抹或去除涂层时有损坏或扭曲薄组件的风险。

ZYGO提供了更先进的解决方案，傅里叶变换相移干涉测量法(FTPSI)。这使得易于表征的正面和背面，光学和物理厚度变化，以及薄平面平行玻璃的材料均匀性。FTPSI可以在一次测量中区分正反面表面，并表征两者的质量，即使它们的厚度小于一毫米。

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