历史

50年的精准
Peter de Groot博士，Zygo公司研发部执行董事

“我们需要为新公司的名字建立标准，”卡尔扎诺尼建议。“简短，不是我们的名字或首字母，……但它必须能用外语发音，比如柯达或施乐。”保罗·福尔曼和卡尔各拿了一本字典。保罗从前面开始，卡尔从后面开始。卡尔找到了“zygo”，意思是“桥梁”或“连接的纽带”，象征着以美国新英格兰的卫斯理大学(Wesleyan University)和日本佳能(Canon)为代表的学术界和产业界的合作。于是，保罗、卡尔和索尔·劳弗为他们的新公司取了这个名字，1970年6月23日，Zygo公司及其Zygo®商标诞生了。

ZYGO在康涅狄格州米德尔敦的卫斯理大学校园高街一栋房子二楼的三个房间里开始了它的生命。1970年的第一个夏天，索尔每天都会把空调从他的卧室搬到保罗的沃尔沃汽车的后备箱里，白天在高街的房子里使用，然后每天晚上把它带回家。成功需要不断的扩张，在公司成立三年后，16名ZYGO员工将一个全新的1000平方英尺的设施搬到了邻近的米德尔菲尔德镇的宜人乡村。如今，米德尔菲尔德公司园区占地160,000平方英尺，在全球范围内拥有10个办公室和生产基地，可容纳500多名员工。

ZYGO成立的目标是创造远远超出当时最先进水平的光学元件。正如保罗所说，“我们的愿景是无论我们开始做什么，都要做到最好。”该公司的第一个主要项目是以前所未有的速度和精度生产非球面透镜的机器。非球面发电机使用空气轴承，砂轮和工件之间的刚性结构，以及创新的闭环计算机控制。机器生成的表面非常光滑，很难看出它没有经过抛光。佳能FD55毫米f/1.2 AL是世界上第一款可互换的35毫米单反相机镜头，采用非球面光学元件，通过ZYGO的非球面发生器实现最大光圈的清晰清晰度。

ZYGO的首要任务一直是建立世界一流的光学制造设施，以生产最高精度的平面表面。

ZYGO最初是一家高品质光学元件制造商。这种传统在这些用于高能激光器的平面放大器上得以延续。
1980年，ZYGO从劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)获得了一份合同，为NOVA激光项目制造平面元件。能力继续进步，在1997年，LLNL国家点火设施授予ZYGO一份合同，为有史以来最大的激光聚变项目提供数千米级平面光学器件，包括窗户和激光倍增晶体。这导致了ZYGO在20世纪90年代的平面抛光能力的重大扩张，使用定制设计的机器和米德尔菲尔德的测试设施。今天，ZYGO是世界上最强大的激光器的高通量光学的主要供应商。

公司成立后不久，ZYGO推出了第一台实用激光菲索干涉仪，用于测试光学元件，作为补充制造业务的额外产品线。1972年12月6日发布的“干涉仪系统模型GH”手册描述了该产品独特的操作功能:可互换的参考平面，快速简便的设置，同时查看和拍摄，以及不受限制的测试工作空间。这个系统可以“……几乎执行所有涂层和非涂层光学元件，表面和系统所需的测量。”

1977年，ZYGO推出了ZIPP - ZYGO干涉图案处理器-作为第一个商业上可用的定量干涉图数据缩减方法，无论是从视频监视器上显示的干涉图案还是从宝丽来®打印。

到1989年，Mark-IV激光器实现了完全自动化，使用基于HP-windows的MetroPro™软件对数据采集和分析进行计算机控制。随着GPI™和Verifire™非球面平台的推出，激光干涉仪产品线不断发展和增长，覆盖了从10毫米到800毫米的工作孔径，并建立了ZYGO作为光学测试的金标准。

在20世纪80年代，ZYGO决定解决在半导体制造的光刻设备中苛刻应用的阶段定位的挑战。其基础技术是外差瞄准线激光干涉测量，它具有精度高的关键优势，同时几乎消除了阿贝偏移误差。与战略合作伙伴合作，ZYGO推出了最初的Axiom 2/20，成为集成到最先进的光刻系统的计量系统的主要供应商。

现代ZMI产品线延续了这一传统，包括zygo建造的稳定激光器和专有声光晶体调制器，用于同时监测线性位移、倾斜和尖端角度的复杂光学系统，以及能够以每秒几米的速度以纳米级精度监测标线和晶圆级运动的高速电子设备。

20世纪90年代初是干涉显微镜技术发展的一个激动人心的时期。长期以来，人们一直认为这项技术在光滑光学或抛光金属表面的应用非常有限，而使用白光显微镜的新方法将该技术从这些限制中解放出来，使得测量几乎任何表面类型成为可能。ZYGO的第一个相干扫描系统，NewView™100，测量加工，地面，或高度纹理表面以及超抛光表面的速度和精度。到2000年初，ZYGO率先将高精度非接触式干涉测量技术应用于汽车零部件，提高了燃料效率，减少了以前被认为不适合此类仪器的制造环境中的空气污染。ZYGO的产品线持续增长，目前在全球范围内安装了数千台ZYGO光学轮廓仪，满足从半导体制造到精密加工的市场需求。

2003年，来自康宁的一群才华横溢的光学设计师和开发工程师加入ZYGO，成立了今天位于加州欧文的电光集团。E-O集团的项目历史包括用于第一台基于激光的角膜切割设备的光束线光学，用于牙齿的3D成像系统，以及非热多色成像透镜。E-O集团开发了一个最早的高性能混合现实系统的例子-先进头盔显示器(AHMD)。除了这些成就外，ZYGO E-O集团今天还是小型天基地球成像卫星望远镜的最大供应商。

公司建设的进程并不总是一条持续向上的道路。在21世纪初，像许多高科技公司一样，ZYGO凭借TeraOptix®部门进入了电信热潮。很快，股价攀升到令人眩晕的高度，盈利能力和增长似乎没有限制。当然，泡沫破裂了，所有人都被要求进行重组和复苏。另一项针对前端半导体晶圆计量的举措遭遇了2008年的全球金融危机，当时该行业的资本设备采购急剧下降，ZYGO将这一激进的举措缩减为规模较小的OEM业务。这些挫折帮助锻造了一个有弹性的公司，从宝贵的经验教训中幸存下来。

从2010年开始，新的机遇重振了ZYGO所服务的市场，是时候加强和扩大产品线了。行业标准ZYGO MetroPro™软件进行了全面修订，并升级为所有干涉测量产品的新Mx™平台。必威中文网站旗舰产品Nexview™干涉显微镜显著扩展了光学非接触式测量复杂结构的应用范围，包括增材制造组件表面和部分透明薄膜层。

ZYGO光学轮廓仪技术是新Compass™系统的核心，该系统用于消费电子产品的微非球面测量，包括手机摄像头和新兴的数字沉浸式显示器。最新的激光Fizeau Verifire™MST波长调谐干涉仪用于分离薄透明玻璃光学的多个表面，而新的光学测试平台既提供软件减振，也提供基于数字全息的“单次”动态数据采集。

ZYGO极端精密光学(EPO)部门成立于2010年，由位于加利福尼亚州里士满的前ASML资产组成。EPO生产一些世界上最精确的光学元件，从光刻用的EUV投影透镜到激光干涉仪引力波天文台(LIGO)的测试质量。

半导体光刻行业的持续需求为精密定位系统集团创造了机会，于2013年推出了基于创新光学外差编码器的新产品线，旨在解决半导体光刻系统中的空气湍流问题。ZYGO的新型ZPS光纤干涉式位置传感器，可提供多达64通道的绝对距离测量，噪声水平为10 pm/Hz，每天漂移数纳米，正在部署在先进同步加速器源的自适应光学上，用于实时x射线束调节。

创始人退休后，是时候让ZYGO寻找下一代的领导和定位自己的未来。2014年，ZYGO加入了AMETEK的超精密技术部。UPT部门包括姐妹计量公司Taylor Hobson, Solartron, Reichert和Creaform，以及精密工程领导者Precitech, Sterling Ultra precision和TMC。ZYGO的传统延续了新产品和创新，建立在坚实的传统基础上，同时享受与新的AM必威中文网站ETEK姐妹公司的互利合作。

从一开始，ZYGO的商业计划就建立在解决工业中关键的未满足需求的棘手问题的雄心之上。用索尔的话来说，“我们能做到……没有界限，没有限制。”这意味着要雇佣一流的员工，包括能够推动从想法到产品推出的新解决方案的顶尖工程师。ZYGO的375项已发行的美国专利组合的专利文献有超过8200次引用。科学期刊、教科书和会议记录包括数百篇论文、书籍章节和ZYGO员工撰写的评论文章。ZYGO科学家积极参与应用光学和精密制造学科的专业协会、标准委员会、大学合作和专业出版活动。

从小型开始成长为今天在精密光学制造和干涉计量公认的机构的公司。ZYGO的名字已经成为测量表面形状和纹理的仪器的代名词，以及定义艺术状态的光学元件和系统。ZYGO还始终坚持在国际市场和全球卓越中心之间架起桥梁的理念。公司的使命仍然是“通过提供创新的精密光学和计量解决方案，使客户获得成功”。面对未来的挑战，这种精神依然坚定。想到50年过去了，我们仍然觉得自己才刚刚开始，真是令人惊讶。