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光学
分析器

5,784,164 6,597,460 6,775,006 6,822,745 6,989,905 7,061,623 7,068,376 7,142,311 7,177,029 7,321,431 7,324,210 7,428,057 7,446,882 7,456,975 7,616,799 7,522,288 7,586,620 7,616,323 7,889,355 7,93,025 7,948,637 7,952,724 8,045,175 8,107,085 8,698,891 8,025,162 9,599,68,129 9,798,130


激光
干涉仪

6,359,692 6,643,024 6,781,700 6,804,011 6,879,402 6,882,432 6,924,898 6,972,849 6,995,848 7,218,403 7,612,893 7,710,580 7,796,273 7,796,275 7,948,638 7,948,639 8,0455,175 9,103,649

位移位置传感器

5,767,972 5,917,844 5,97,077 6,157,660 6,452,682 6,597,459 6,950,192 6,975,406 7,428,685 7,542,147 7,576,868 7,636,166 7,639,367 7,697,195 7,826,064 8,300,233 8,670,127 8,885,172 8,913,226 9,115,975 9,146,093

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