光学轮廓仪和3D光学轮廓仪
ZYGO的3D光学轮廓仪仪器能够实现精确、定量、符合iso标准的非接触式表面测量和微纳米尺度表面特征的表征，在短短几秒钟内捕获多达200万数据点。应用范围从地形和波纹到样品的粗糙度和微结构表征，从超光滑的亚埃光学表面到极其粗糙和弥漫的3D打印表面。
选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
Nexview™NX2
最高性能的系统，最大的工作量。自动化样品分期和照明实现先进的生产应用，具有卓越的研究级测量精度。像NewView™9000和ZeGage™Pro一样，软件和附件选项可配置，以满足您在广泛应用领域的需求。
NewView™9000
高性能和可配置的光学分析器。分期，软件和附件选项使其非常适合广泛的应用程序，并使其能够随着您的计量需求而发展!
ZeGage™职业
标准性能CSI台式配置，紧凑的设计，使用简单。在车间测量零件!
指南针™2
用于非球面微透镜模块和模具三维表面测量的快速非接触式微透镜工艺测量系统。
Nexview™650
Nexview™650计量系统提供精密自动化测量注塑模具，pcb，玻璃面板高达650 x 650毫米。
特殊的配置
大幅面检查
Nexview™650是一款大尺寸检测工具，可用于自动测量注塑模具、pcb、玻璃面板和其他需要扩展工作体积至650 x 650 mm的样品。它提供了亚纳米垂直精度和亚微米横向精度的2D和3D测量。
OEM系统
ZYGO在为OEM制造商和系统集成商提供精确、高速的3D光学轮廓传感器方面拥有良好的业绩记录，可用于最具挑战性的应用。这些可配置的系统非常适合集成到自动化生产系统中进行在线测量和过程控制。
工业外壳
ZYGO 3D光学轮廓仪的Guardian™工业外壳耐用，符合人体工程学，结构紧凑，可在恶劣环境中提供保护，将计量核心与周围环境隔离，同时保持完整的性能和功能。
微透镜测量
为了完全表征离散微透镜及其对准特征，ZYGO的Compass™系统为小透镜和模具提供了亚纳米高度精度的全表面、非接触式、表面形状和偏差、地形和关系/尺寸测量的全表面、非接触式3D映射。
ZYGO 3D光学轮廓仪的主要特点…
SmartSetup™技术
专有的SmartSetup™技术通过自动化设置和配置任务，帮助您更快地从ZYGO光学轮廓仪获取测量数据。SmartSetup™定位样品表面，设置光级别和扫描长度，并进行测量-通常在1分钟内。
SureScan™技术
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光学分析器目标
轮廓仪的目标决定了轮廓仪的放大倍率、工作距离、坡度能力和视场(但不包括z高度分辨率，它是恒定的)。ZYGO为其光学轮廓仪提供的广泛的物镜在行业中是无与伦比的。
Mx™软件
ZYGO的Mx™软件支持完整的计量系统控制和数据分析，包括交互式3D地图，定量地形数据，直观导航，内置统计SPC，控制图表和通过/失败限制。