Nexview™650:大尺寸检测和计量
大幅面检验与计量
的Nexview™650计量系统是一种自动测量注塑模具，pcb，玻璃面板和其他样品的检测工具，需要扩展的工作体积高达650 x 650毫米。它提供了亚纳米垂直精度和亚微米横向精度的各种表面特征的2D和3D测量。
强大的性能
相干扫描干涉测量(CSI)是Nexview™650系统的核心测量技术。
这种非接触技术提供了高精度和高价值的表面测量优势，包括:
- 测量几乎所有类型的表面，从粗糙到超光滑，包括薄膜，陡坡和大台阶。
- 亚纳米测量精度与场放大倍数无关
- 测量强大的性能-为最苛刻的生产应用提供卓越的精度和重复性。
- SureScan™抗振动技术-在几乎任何环境下都能稳定运行。
- Mx™软件可以与其他ZYGO分析器进行无缝数据交换，包括ZeGage™职业，NewView™9000,Nexview™NX2．