光学分析器目标

机动炮塔上的轮廓仪目标保持光学轮廓仪投资成本效益和长期相关性的关键是确保它将适应计量需求的发展。目标是ZYGO CSI剖面仪的核心,提供灵活的视野、横向分辨率和坡度接受度。因此,ZYGO一直致力于提供最宽范围的干涉物镜之一-从1X到100X,可以随着时间的推移而增加。

物镜种类提供了业界领先的视野范围,从0.4毫米到超过17毫米。除了视野之外,ZYGO物镜被设计成准焦的,因此它们可以以各种方式组合,以提供最大的应用灵活性。几种应用特定的配置和附件,包括:

  • 长工作距离(LWD)和超长工作距离(SLWD)模型,分别为20mm和40mm,适用于凹陷、障碍物和其他难以接近的表面。
  • 玻璃补偿(GC) LWD物镜可用于在保护透明窗口下测量样品。
  • 快速改变单一目标吻合以及手动和机动编码目标炮塔安全,快速,轻松地改变不同的目标之间

追求精准

确保物镜的最佳成像对计量性能至关重要。作为一家具有深厚光学传统的公司,ZYGO认识到这一点,并精确地聚焦我们所有的目标,以确保光学对焦和干涉对焦的精确匹配-这是ZYGO与其他制造商之间的关键区别。

此外,这种光学遗产还提供了一些真正独家的物镜选项,如获得专利的Zygo宽视场(ZWF) 1.4X。这种独特的功能以紧凑的封装提供了大视野,易于与炮塔上的其他物镜组合,并在单一工具上实现多种测量类型。

要确定应用程序的最佳目标组合,请联系我们,安排在您的示例上进行演示。

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