ZeGage™职业
生产就绪的3D光学轮廓仪系统

ZeGage™Pro和ZeGage™Pro HR 3D光学轮廓仪提供多种类型表面的微纳米尺度特征的非接触式测量和表征,确保制造环境中的质量控制和过程监控。
我们行业领先的ZeGage pro系列为台式工业非接触式表面轮廓仪的性能、易用性、灵活性和精度设定了标准。建立在ZYGO的专利CSI技术, ZeGage Pro提供创新技术,实现精确、可靠、简单和自信的表面测量。
专有功能包括SureScan™技术用于振动稳健计量,零件查找,和聪明的设置简化零件设置和优化测量。测量各种各样的表面和零件从来没有这么简单,快速和容易。
阅读更多内容,了解ZeGage™Pro系统的强大功能、多功能性和价值如何使您受益。
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强大的性能
- SureScan™技术增强了专有的非接触式测量技术,对振动的低灵敏度,易于放置在设施的任何地方。
- 具有纳米级精度的定量表面计量提供了优越的计量能力。
- 高分辨率190万像素图像传感器在几秒钟内提供快速的区域测量,提供出色的表面细节和可视化。
- 全自动测量序列和现场拼接能够实现大面积的高分辨率检测。(需要可选的电动部件阶段。)
多功能性
- 测量各种表面材料和参数,包括表面纹理、形状、台阶高度等的2D和3D分析。
- Mx软件为地面数据可视化、分析和报告提供了全面的工具。
- 扩大您投资的测量范围,包括物镜炮塔,手动和电动样品台,以及可选的软件模块,用于薄膜形貌分析和使用康耐视VisionPro®进行2D分析。
生产力和价值
- 智能设置技术减少了培训时间,并通过自动查找零件、灯光设置和扫描配置缩短了零件转换。Smart Setup通常在将样品置于物镜下的1分钟内生成第一个数据图。
- 与其他系统相比,具有成本效益的性价比,包括机械触控笔轮廓仪。
- 非接触式方法意味着无需担心耗材的更换成本。
- 紧凑、耐振动的SureScan™技术,可轻松集成到您的设施的任何地方。
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