大口径光学测量系统“，
用于大幅面光学测量的扩展孔径
24”大口径干涉仪系统
ZYGO的水平轴扩束器将4”干涉仪的原始孔径尺寸增加到12”、18”、24”甚至32”，从而实现了大尺寸光学元件和光学系统的干涉测量精度。
水平大口径系统提供了独特的能力，以维持两个独立的计量通道;其中一个是4英寸口径的干涉仪，另一个是32英寸口径的扩展波束，使两个干涉仪合一的灵活性成为可能。当配置适当的附件时，大口径系统可以用来测量表面形状和透射波前质量。
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32“大口径干涉仪系统
ZYGO光束扩展器已部署在世界各地，以满足大尺寸光学测量中最苛刻和精确的应用。数十年的扩束器开发经验和超精密参考平板等关键部件的内部生产经验，确保满足您的应用需求，并在未来得到良好的支持。
大孔径系统组件可以从干涉仪主机中单独购买。请联系您当地的ZYGO代表，以帮助您配置系统以满足您的计量需求。
关键特性
- 扩大光圈尺寸12 "，18 "，24 "和32 "
- 双通道4”和扩大腿，增加灵活性，大口径和小口径均可访问
- 为高分辨率设计，每个波束扩展器为干涉仪系统保持高达3.4k x 3.4k的ITF
- 支持QPSI振动鲁棒采集
- 工作波长从633 nm到1。55µm
- 每种孔径尺寸都有一系列光学和机械配件，包括高达λ/25 PVr的参考光学器件
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