Verifire™MST:同步多面测试干涉仪
同时多面测试干涉仪
简化复杂-多个表面创建复杂的条纹图案，Verifire™MST使用专利波长移动技术，同时从多个表面获取相位数据。报告来自平行窗口各个表面的关键指标，透射波前，以及精确的表面到表面信息，如总厚度变化(TTV)，楔甚至材料不均匀性。
verisfire™MST解决了移动设备显示玻璃、数据存储磁盘和半导体晶圆等苛刻的应用，具有精确的表面和厚度变化计量，可用于0.5 mm薄的测试部件。
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Verifire™MST提供光学元件和透镜系统的表面形状和透射波前的高精度测量。这是唯一的商业干涉仪系统，可以同时测量多个表面，保持相对表面信息，并从多个表面提供快速和简单的结果。
关键特性
- 同时的表面和波前表征和精确的表面到表面测量，如TTV和楔形
- 薄至0.5 mm厚度的测试件的表面和厚度鉴定
- 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，以提供最佳的ITF
- 1.2k x 1.2k(包括离散变焦炮塔，光学变焦高达3倍)
- 2.3k x 2.3k
- 3.4k x 3.4k
- 工作波长从633 nm到1.053µm, 1.064µm和1.55µm
- QPSI™采集技术仅由ZYGO提供，可在易振动环境中实现可靠的测量-现在可用于波长移动和多表面FTPSI采集
- 环火神器消减源包括标准-消除靶心和减少相干噪声
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