Verifire™XL
大口径下视干涉仪
大口径，占地面积小- verisfire XL是一款交钥匙干涉仪工作站，可轻松测试直径达300毫米的平面光学器件。
这种完全集成的系统易于使用，具有重型尖端/倾斜工作台，可提供可重复的部件放置，而无需定制夹具。
紧凑的占地面积，内置振动隔离和控制器监视器支架，需要最小的生产空间。
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独立的大口径工作站，用于测量直径达12英寸(300毫米)的平面光学表面形式，如镜子，窗户，半导体晶圆，晶圆卡盘和阻塞平面。
关键特性
- 12“(300毫米)孔径向下看的方向，易于部分处理和校准
- 交钥匙式、自成体系，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对中台、1/15波PVr传输台(TF)
- 紧凑的占地面积最大限度地减少了宝贵的地板空间的消耗
- 集成振动隔离和QPSI™技术，可在生产环境中进行可靠的测量
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