光学制造用干涉仪工作站
用于高效生产光学制造的干涉仪工作站
ZYGO的Verifire VTS是专门建造的球形光学干涉仪工作站。垂直向上的工作站通过重力工作来保持测试部件到位，从而实现快速取放测量。集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能实现峰值性能。机动z型工作台行程为1米，可快速自动放置测试部件，以及点对点曲率半径。
VTS与一系列干涉仪大型机兼容，选择适合您的生产或开发需求的性能水平。紧凑的占地面积可带或不带安全外壳，带光幕运动联锁，满足CE机器的安全要求。
的MetroCell是一种超能力的垂直向下看干涉仪工作站，具有5轴电动和可编程分期，用于部分校准，包括800毫米的z级行程，以及集成的被动隔振系统。采用z级2轴DMI, MetroCell是目前最精确的球面曲率测量平台，测量不确定度< 0.001%的半径值。
立式工作站套件使垂直方向干涉仪的灵活性在一个无装饰的成本效益的包。请查看激光干涉仪有关配置和可用选项的更多信息的附件指南。
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ZYGO干涉仪工作站扩展了标准干涉仪主机在垂直方向上的功能，具有集成分段和被动隔振，占地面积紧凑。通过ZYGO的Mx软件，电动工作台实现了精确的曲率半径和可编程定位，为当今精密光学制造需求创建了高效灵活的计量工作站。
关键特性
- 垂直向上看或向下看的工作站
- 兼容大多数标准ZYGO干涉仪主机
- 支持4”和6”孔径尺寸
VTS和MetroCell
- 机动运动与Mx完全集成，包括曲率半径的自动运动
- 集成被动隔振
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