Mx™激光干涉仪
ZYGO的Mx™软件支持完整的系统控制和数据分析，包括交互式3D地图，定量相位数据，直观导航，内置统计SPC，控制图表和通过/失败限制。
世界一流的分析和控制软件
Mx是高度可信的MetroPro测量和分析套件的继承者。Mx延续了值得信赖的计量，强大的定制和生产自动化的传统。其基于工作流程的设计指导用户完成从设置到分析和报告的计量体验。
交互式图显示2D或3D的全区域数据，以及剖面切片、Zernike分析、斜率分析和PSD视图。通过内置的SPC，通过/失败指示，数据报告和运行图表，生产质量分析变得简单。
Mx亮点
健壮的测量- ZYGO专有QPSI™和DynaPhase®测量采集技术消除了在困难的计量环境中振动的影响。这些专有技术，最近扩展到verisfire MST，意味着您可以始终信任您的数据。
支持你的测试设置-内置支持我们的典型干涉仪设置指南中的每个测试，从双通道角立方体到掠入射。对您的测试设置、干涉测量比例因子和结果有信心。
灵活的分析-从健壮的拟合工具(包括Zernike, Annular Zernike和Legendre多项式)到斜率和功率谱分析，Mx提供了您需要的工具来制造图纸或了解您的过程。
内置SPC分析工具跟踪结果，监视通过-失败标准，并跟踪过程统计信息。通过电子报告和清晰的可视化指标，您可以快速地将零件交付生产，并且永远不会丢失测试报告的跟踪。