绝对位置传感器
高精度非接触绝对位置测量多达64同步通道
ZYGO的ZPS™系统使用超紧凑型光学传感器测量绝对位置，该传感器易于集成到高精度应用中，如变形镜和镜头定位。
光学传感器系统提供多达64个同步通道的高精度，非接触式，绝对位置测量，测量范围为1.2 mm。测量分辨率0.01 nm，测量稳定性≤1 nm/天。
光学传感器不产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统成为可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑型传感器通过光纤电缆连接到紧凑的中央外壳。ZYGO的免费ZPS™软件在ZPS系统和您的计算机之间提供了即插即用的连接，使您能够快速轻松地启动和运行您的系统。
-
更多信息
-
宣传册&
规格表
-
手册
-
科技论文
应用程序
ZPS系统通常用于需要来自多个传感器的连续高精度位置数据流的闭环反馈系统，以补偿漂移并保持精确的定位和对准。该系统还可以作为RD&E和制造环境中的工具，用于测试夹具的校准或量化动态机械性能。
主要特点:
- 非接触式光学测量
- 可重复测量绝对位置(≤0.5 nm, 3σ)
- 采用专有补偿算法的高精度系统
- 超紧凑的传感器，没有EMI灵敏度或发热
- 可靠的电信验证光纤组件
- 可扩展，多达64个通道
