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关键特性
- 几何形状(平面，球体，非球面)优于λ/50 PV。
- 全口径干涉测量法可达32英寸的平面，高达12英寸的球体/非球面(较大的拼接)。
- 表面粗糙度< 1nm rms。
应用程序
ZYGO在制造定制光学反射镜方面有着悠久的传统，适用于各种应用，包括但不限于:
- EUV镜子
- 轻量级的镜子
- 空间的镜子
- 光刻步进器用台架组件
- x射线的镜子
- 国防/航空航天
- 医疗/生命科学
- 工业OEM
- 情报、监视和侦察(ISR)
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