服务

非球面和非球面

• 尺寸:500mm
• 材料:ZERODUR®，ULE®，玻璃，陶瓷，硅，CaF2
• 精度为λ/5000 RMS @ 633 nm
• 没有父组件的离轴镜
• 技术:
  • 计算机控制光学堆焊
  • 离子束计算
  • 精密光学和CMM计量

计算机控制光学堆焊

• 非球面及精密球面、平面、圆柱
• 可实现1 nm RMS表面图形和0.2 nm RMS表面粗糙度(玻璃)
• 可配置的玻璃，CaF2, ZERODUR®，ULE®，SiC, Si，其他材料和广泛的部件几何形状
• 可扩展的光学超过1.5米
• 采用专有的计算机控制光学堆焊(CCOS)技术

超级精加工/超级抛光

表面的超级精加工通常需要应用的地方，它是至关重要的，以减少光的散射，因为它通过光学的表面。ZYGO的超级抛光(也称为超级抛光)工艺在熔融二氧化硅，蓝宝石，YAG等材料上产生宽功率谱密度(PSD)带的极其光滑的表面。我们独特的工艺能够产生< 1埃(< 0.1 nm)的表面粗糙度，空间周期从10 nm到1 mm。

离子束图(IBF)

该专利技术采用真空氩气离子流局部“抛光”非球面、球面和平面光学表面。光学测量数据与CCOS软件相结合，对表面误差进行局部校正。

IBF具有显著优势:

• 达到小于0.25 nm RMS的表面形状(λ/2500 @ 633 nm)
• 对边缘边界条件不敏感
• 适用于精致和/或易变形的表面，如超轻基材(无打印穿透)
• 能否应用于传统抛光工具无法达到的表面几何形状
• 适用于广泛的材料，包括ZERODUR®，ULE®，玻璃，陶瓷，Si, CaF2
• 不能划伤表面

精密玻璃加工

• 玻璃、陶瓷材料五轴超声数控加工;比传统CNC快3到5倍
• 3轴和4轴传统数控玻璃加工
• 后机氢氟酸蚀刻
• 5µm典型公差;2µm后酸蚀的关键特征
• 尺寸:750毫米