振动免疫干涉法
看: DynaPhase™动态数据采集
动态环境中的干涉光学测量-从极端振动到实时光学系统校准
斐索干涉测量法已经成为光学元件和系统精密测量的可靠标准。传统上,这些仪器被要求安装在实验室环境中,那里的条件被仔细控制,以确保高精度测量不受影响。然而,如今越来越多的应用需要在以前不可能实现高质量计量的环境中使用干涉测量的简单、经济的解决方案。
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